沈阳无尘室-无尘室工程-清阳净化系统工程(推荐商家)

4.1AMC的分类及控制要求情况

AMC作为IC工厂所关心的问题于20年前***xian由日本人提出，近年来，IC生产园片直径已达φ300mm，工艺加工尺寸（线宽）已小于0.15μm，在某些加工工序及工序间园片的传送和存放环境中AMC已成为严重影响成品率的问题，已被清楚的认识到，因此，AMC的控制已由谈论转到需要实施。

对于IC生产，AMC分为A、B、C、D四类，即：

A——酸性物质，如Hcl等；

B——碱性物质，如NH3等；

C——沸点高于室温能在光洁表面冷凝的物质，主要是碳氢化合物，某些工艺加工环境中的水蒸汽亦需要考虑；

D——掺杂物质，能为园片表面吸附或与表面相互反应的物质，如***、硼、磷等。

AMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要广泛多，粒子污染控制只要确定粒径及个数，但对AMC控制而言，除了受芯片线宽的缩小而变化外，并受工艺、工艺设备、工艺材料及园片传送系统等的影响，更有甚者用于某一工序的各种工艺材料（***、特种气体等）在很多情况下其微量的分子对下一工序往往可能是污染物，而园片加工工序当前已多于300多个***工序，对AMC控制指标的确定更是复杂。因此，IC生产对AMC的控制，对不同的产品、不同的工艺、不同的工序及不同的工艺材料会有不同的要求，对各种污染物质的要求当前总的说法是控制在亚pptm～1000pptm间。

无尘室照明布线应注意的问题

无尘室装修照明布线应同各类电气线路、各***管道一样，遵循一个“隐蔽”的原则。洁净室气流流型不同，它的建筑结构也不相同，非单向流洁净室，一般只有上技术夹层或吊顶；垂直单向流洁净室，设有上下技术夹层，上技术夹层是送风静压箱，循环风处理装置、高1效过滤器，部分电力、照明、通信管线也在此敷设；下技术夹层是回风静压箱（回风道），一般敷设水管、气体管道、电气管线、电缆桥架、封闭式母线等；与洁净室相毗邻设有技术夹道或技术竖井，敷设竖向管道或放置那些不宜放在无尘室内的辅助生产设备。

照明配电箱由于灯具的所在位置常常设在顶棚以上的技术夹层或技术夹道内，无尘室工程，这样容易接近负荷中心，水平布线短，抻于隐蔽。

只设有吊顶的洁净室，吊顶内管线复杂，注意电气管线敷设时要注意尽量远离可燃性气体管道或采取相关措施；必须在洁净室内安装的照明配电箱、开关等应尽量暗装，电线、电缆管线穿过吊顶处必须进行密封处理，防止吊顶内灰尘和细1菌等进入洁净室。

净化工程无尘室无尘车间水电施工技术要点：

1、施工前的施工图

施工前一定要有电气(强电、弱电)、给排水设计施工图。

2、严禁导线外露

严禁将导线无任何保护地直接敷设在墙内、地坪内、地板下或天棚上。

3、布线线管要区分

不同电压，不同回路，不同信号的线路严禁穿在同一穿线管内。

4、灯具的安装应在油漆完成后进行

在砖混结构上安装灯具，严禁使用木楔，应用吊钩、螺栓或膨胀螺栓等。固定灯具的螺栓(或螺钉)不应少于2个。灯具不得安装在可燃构件上。

5、灯和电气设备的开关安装

灯和电气设备的开关务必安装在“相线”上(即控制相线)，否则开关掉后，灯关及电气设备上仍带电，易引起触电事件。

6、用电系统有两种保护方式

接地保护和接零保护，我国目前一般采取的是接地保护方式。注意，同一系统中，无尘室厂家，严禁同时采取两种保护方式，否则会造成安全事故。

7、禁止使用移动开关

如果灯具是使用螺口灯头，则螺口灯头的中心簧舌应接控制相线。

8、接口处的保护

各线路接口处应光滑、连板连接应牢固。电源进线盒接口盒部位应加保护圈(锁紧螺母)保护。

9、穿线管弯头弧度

为了将来导线的更新和维护，埋在墙、地下或天棚的穿线管，其转弯处弯头的弧度(即冷弯半径)应是穿线管直径的5~10倍。

10、禁止在穿线管内连接导线

禁止在穿线管内连接导线，无尘室施工，即若导线长度不够需接长时，导线的接头处不能在穿线管内，一般应在开关、插座、灯头盒等接线盒内接线。

11、穿线管的选择

穿线管应选择一定的大小(粗细)，不但要能使导线穿得进，而且要留有足够的空隙，使导线在通过大电流时产生的热量能散发掉。一般导线的截面积与穿线管截面积之比为1/3~1/2。严禁导线把穿线管堵实。

12、给水管可采用PP-R管、铜管。

13、给水管检查

暗敷给水管道必须严格检查所有连接部位是否安装紧密、牢固，走向正确，再做水压试验，试水一段时间后方可隐埋。试压指数一般为0.8mpa-1.0mpa之间适宜。

14、排水管安装注意点

排水管横向管道应有一定的坡度，承插口连接严密，确保无渗漏。固定管道的支架、吊卡间距合理、牢固。

15、卫生器具的安装位置

卫生器具的安装位置应准确，支、托架安装平整、牢固。地漏应安装在地面的***di点，且凹入地面5mm。坐便器与地面或管口的连接密封用油泥或硅胶，沈阳无尘室，不宜使用水泥，水泥会膨胀造成坐便器底部裂缝损坏。

16、冷热水龙头的方位

冷、热水龙头中的热水龙头应安装在左侧。电热水器应有接地保护装置，初用时应排除胆内空气，注满水后方可通电启动。